羯磨金刚又称羯磨杵，亦单称羯磨，呈三钴十字之状。金刚杵有独钴杵、三钴杵、五钴杵、九钴杵等诸种，其各钴（股）形状或呈鬼面，或为人形，钴之上方则呈握状，可供行者手持之用。
金刚铃亦有独钴铃、三钴铃、五钴铃之别；若将以上三种铃安置于塔顶宝珠形之上端，则称为塔铃、宝铃。金刚盘为修法时安置金刚杵、金刚铃等物者。此外，尚有藏密特别的法器，如：唐卡、食子、摩尼轮、八吉祥、七宝、曼达、嘎乌等。
密教的法器，除了修法所用之外，由于其制作十分精美，亦常被视为艺术品珍藏。
供养用的佛具
在法器中，有一类是供养佛、菩萨等资具。如香华、灯明、饮食等。根据《陀罗尼经》卷三所说，供具有二十一种。如果不能具足备办二十一种，则略备香水、杂华、烧香、饮食、燃灯等五种也可以。
供在佛前的香、华、灯明、饮食等，称为供物，盛装供物所用的盛器则称为供具。
供物的种类有衣（左礻中戒）、饮食、卧具、汤药、香华、璎珞、末香、涂香、烧香、缯盖、幢幡、伎乐等。
佛陀住世时，信众除供献佛及诸弟子日常所需的资具外，亦奉献苑林、精舍等。佛陀减度后，则别置佛像，以饮食、*、伎乐等供养礼敬。
供养又称供施、供给，或略称供。乃供给资养之意，原是指以饮食、衣服等供给佛法僧三宝以及父母、师长、亡者。由于供养物的种类及供养的方法、对象有别，故经论中所说之供养也有种种不同，其中对佛菩萨的供养，在《苏悉地羯罗经》卷中中说：“先献涂香，次施花等，后献烧香，次供饮食，次乃燃灯。如其次等，用忿怒王真言。此等物清净，善悦人心。”
《大日经疏》卷八则说：“若深秘释者，涂香是净义，如世间涂香，能净垢秽息除热恼。今行者以等虚空阏伽洗涤菩提心中百六十种戏论之垢，以住无为戒涂之，生死热恼除灭，得清凉性，故曰涂香。所谓花者，是从慈悲生义，即此净心净种子于大悲胎藏中，万行开敷，*佛菩提树，故说为花。烧香是遍至法界义，如天树王开敷时，香气逆风、顺风自然遍布，菩提亦尔。”
在密教，以阏伽（净水）、涂香、花、烧香、饮食、灯明六物为供物。
（１）阏伽：即是净水，供净水代表清净一切杂染，出生清凉大智慧泉。
（２）涂香：供涂香象徵具足诸佛圆满功德。供献佛部本尊系用由诸草、根汁之香及花等三物合制而成。莲华部本尊用由诸香树皮、白旃檀香、沈水香、天水香、煎香等类及香果和合。金刚部本尊用由诸香草之根、花、果叶等和合。因诸根果之香气重，故通用于三部本尊。又，修息灾法用白色涂香，修增益法用黄色涂香，修降伏法用紫色涂香。
（３）花：供花代表*佛身，具足佛陀相好。佛部供养闍底苏末那花，莲华部供养红莲花，金刚部供养青莲花。息灾法用味甘之白色花，增益法用味淡之黄色花，降伏法用味辣之紫色花。《大品般若经》卷二十一中说：“但以一华散虚空中念佛，乃至毕苦其福不尽。”
《百缘经》卷六中也说：“诣林树间采娑罗花作诸花，（中略）以所cǎi_huā散佛世尊，于是而去。”《杂宝藏经》卷五则谓天女以华奉迦叶佛塔，依其功德生天上得金色身。
（４）烧香：供烧香表遍薰法界，具足大乐幢。佛部用沈水香，莲华部用白檀香，金刚部用郁金香。息灾法用捣丸香，增益法用作丸香，降伏法用尘末香。
（５）饮食：供养饮食代表以如幻法悦禅密藏为食，包括诸果、饼、羹，及圆根、长根等。佛部用山中所生之圆根，莲华部用水中所生之圆根，金刚部用苦辣味淡之圆根。息灾法用甘味之果实，增益法用甜酸之果实，降伏法用淡辣味之果实。又，佛部供养米粉之食，可圆满息灾之上成就；莲华部供养麦面之食，可圆满增益之中成就；金刚部供养油麻与豆子之食，可圆满降伏之下成就。
（６）灯明：供灯代表如来无尽正觉心灯，照破诸暗。三部皆用最佳之牦牛苏点灯。息灾法用香木油或白牛苏，增益法用油麻油、药油或黄牛苏，降伏法用白芥子油、乌牛油及恶香气油。
而藏密中则多以八供来行供养：净水、饮水、香华、烧香、灯明、涂香、水果、乐器（多以海螺为之）。
梵呗赞诵用的法器
此类法器是指钟、板、木鱼、椎、磬、铙钹、鼓等物。日常行事、生活作息中集合大众，或于法会、仪式中领众所用。
《勅修百丈清规》卷八中说：“钟、大钟，丛林号令资始也；晓击则破长夜警睡眠，暮击则觉昏衢疏冥昧。
大板斋粥二时长击三通，木鱼后三下叠叠击之，谓之长板。念诵楞严会儆戒火烛，各鸣三下；报更则随更次第击之。（中略）
木鱼，斋粥二时长击二通，普请僧众长击一通，普请行者二通。（中略）
椎，斋粥一时，僧堂内开钵，念佛唱食遍食，施财白众皆鸣之。（中略）
磬，大殿早暮住持知事行香时，大众看诵经咒时，直殿者鸣之；唱衣时，维那鸣之。（中略）
铙钹，凡维那揖住持两序，出班上香时，藏殿祝赞转轮时，行者鸣之。（中略）